文献
J-GLOBAL ID:200902000074612530
整理番号:90A0222260
サブミクロンサイズの金の構造の集束イオンビームによる作製
Focused ion beam fabrication of submicron gold structures.
著者 (4件):
BLAUNER P G
(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)
,
RO J S
(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)
,
BUTT Y
(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)
,
MELNGAILIS J
(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
7
号:
4
ページ:
609-617
発行年:
1989年07月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)