文献
J-GLOBAL ID:200902000082665490
整理番号:91A0921881
新しい種類の高電流金属イオンインプランテーション設備の若干の高級な表面改質応用
Some Novel Surface Modification Applications of a New Kind of High Current Metal Ion Implantation Facility.
著者 (5件):
BROWN I G
(Univ. California, CA, USA)
,
DICKINSON M R
(Univ. California, CA, USA)
,
GALVIN J E
(Univ. California, CA, USA)
,
GODECHOT X
(Univ. California, CA, USA)
,
MACGILL R A
(Univ. California, CA, USA)
資料名:
Journal of Materials Engineering
(Journal of Materials Engineering)
巻:
13
号:
3
ページ:
217-228
発行年:
1991年09月
JST資料番号:
C0161A
ISSN:
0931-7058
CODEN:
JMAEEV
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)