文献
J-GLOBAL ID:200902000100421765
整理番号:90A0638050
高度に対称性のよい静電容量型シリコン加速度計
Capacitive silicon accelerometer with highly symmetrical design.
著者 (6件):
SEIDEL H
(Messerschmitt-Boelkow-Blohm GmbH, Munich, DEU)
,
RIEDEL H
(Messerschmitt-Boelkow-Blohm GmbH, Munich, DEU)
,
KOLBECK R
(Messerschmitt-Boelkow-Blohm GmbH, Munich, DEU)
,
MUECK G
(Messerschmitt-Boelkow-Blohm GmbH, Munich, DEU)
,
KUPKE W
(Messerschmitt-Boelkow-Blohm GmbH, Munich, DEU)
,
KOENIGER M
(Messerschmitt-Boelkow-Blohm GmbH, Munich, DEU)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
21
号:
1/3
ページ:
312-315
発行年:
1990年02月
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)