文献
J-GLOBAL ID:200902000106173984
整理番号:87A0281917
レーザ誘起蛍光を用いたAl2O3のエキシマレーザアブレーションの研究
Laser-induced fluorescence studies of excimer laser ablation of Al2O3.
著者 (3件):
DREYFUS R W
(IBM Thomas J. Watson Research Center, NY, USA)
,
KELLY R
(IBM Thomas J. Watson Research Center, NY, USA)
,
WALKUP R E
(IBM Thomas J. Watson Research Center, NY, USA)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
49
号:
21
ページ:
1478-1480
発行年:
1986年11月24日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)