文献
J-GLOBAL ID:200902000135720196
整理番号:84A0099076
ウエハ作製の問題点定義
Defining the issues in wafer fab.
著者 (1件):
HUTCHESON G D
(VLSI Research Inc., Calif.)
資料名:
Semiconductor International
(Semiconductor International)
巻:
7
号:
1
ページ:
46-50
発行年:
1984年01月
JST資料番号:
D0457B
ISSN:
0163-3767
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)