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J-GLOBAL ID：200902001843992437 整理番号：89A0477127

集束光ビームによる正確な楕円偏光解析法 2 感度解析

Precision ellipsometry based on a focused light beam. 2. Analysis of sensitivity.

著者 (3件)：

BARSUKOV D O

GUSAKOV G M

KOMARNITSKII A A

資料名：

Optics and Spectroscopy (Optics and Spectroscopy)

巻： 65 号： 2 ページ： 237-240 発行年： 1988年08月
JST資料番号： H0143A ISSN： 0030-400X CODEN： OPSUA3 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：ロシア (RUS) 言語：英語 (EN)

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