文献
J-GLOBAL ID:200902001890642754
整理番号:87A0022144
高周波グロー放電中の負イオンの運動
Negative ion kinetics in radio-frequency glow discharges.
著者 (2件):
GOTTSCHO R A
(AT&T Bell Lab., NJ, USA)
,
GAEBE C E
(AT&T Bell Lab., NJ, USA)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
4
号:
3 Pt 2
ページ:
1795-1796
発行年:
1986年05月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)