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文献
J-GLOBAL ID：200902001944044793
整理番号：84A0474543
電子顕微鏡法を用いた結晶の局所的な厚みの測定とイオンドープシリコンの深さ方向の欠陥分布プロフィルの研究
Измерение локальной толщины кристаллов и получение профилей распредения дефектов по глубине в ионно-легированных слоях кремния методом электронной микроскопии.
ПЕТРАШЕНЬ П В
,
СИТНИКОВА А А
,
СОРОСКИН Л М
資料名：
Zhurnal Tekhnicheskoj Fiziki
(Zhurnal Tekhnicheskoj Fiziki)
巻： 54 号： 7 ページ： 1330-1333 発行年： 1984年07月
JST資料番号： R0141A ISSN： 0044-4642 CODEN： ZTEFA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ロシア (RUS) 言語： ロシア語 (RU)
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