文献
J-GLOBAL ID:200902002007004618
整理番号:91A0561547
Sub-Micron Gaps Without Sub-Micron Etching.
著者 (4件):
FURUHATA T
(IBM Research, Tokyo, JPN)
,
HIRANO T
(IBM Research, Tokyo, JPN)
,
GABRIEL K J
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
FUJITA H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名:
Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1991
(Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1991)
ページ:
57-62
発行年:
1991年
JST資料番号:
K19910274
ISBN:
0-87942-642-X
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)