文献
J-GLOBAL ID:200902002012639770
整理番号:90A0433478
AEMPES: an expert system for in-situ diagnostics and process monitoring.
著者 (1件):
CHEN S-S
(Univ. North Carolina-Charlotte, North Carolina)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
1188
ページ:
152-161
発行年:
1990年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)