文献
J-GLOBAL ID:200902002028025640
整理番号:90A0002531
CMOSユニットプロセス開発の標準化
Standardization of CMOS unit process development.
著者 (1件):
WEBER C
(Hewlett Packard Corp., Calif)
資料名:
Proceedings of the 1989 International Conference on Microelectronic Test Structures
(Proceedings of the 1989 International Conference on Microelectronic Test Structures)
ページ:
39-44
発行年:
1989年
JST資料番号:
K19890442
ISBN:
0-87942-714-0
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)