文献
J-GLOBAL ID:200902002057802396
整理番号:87A0551072
マイクロエレクトロニクス製造における汚染制御のクリーンルーム内流れの可視化
Visualization of clean room flows for contamination control in microelectronics manufacturing.
著者 (4件):
SETTLES G S
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
,
HUITEMA B C
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
,
MCINTYRE S S
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
,
VIA G G
(IBM Corp., VA, USA)
資料名:
Flow Visualization 4
(Flow Visualization 4)
ページ:
833-838
発行年:
1987年
JST資料番号:
K19870481
ISBN:
0-89116-621-1
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)