文献
J-GLOBAL ID:200902002087229950
整理番号:90A0083880
プラズマ促進有機金属化学蒸着により作製した金属性のSn-Zn合金膜の構造と性質
Structure and properties of metallic Sn-Zn alloy films prepared by plasma-enhanced metalorganic chemical vapor deposition.
著者 (3件):
LIN T J
(Univ. Missouri-Rolla, MO, USA)
,
O’KEEFE T J
(Univ. Missouri-Rolla, MO, USA)
,
JAMES W J
(Univ. Missouri-Rolla, MO, USA)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
177
ページ:
271-286
発行年:
1989年10月
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)