文献
J-GLOBAL ID:200902015477816621
整理番号:88A0009143
光リソグラフィーの可能性
Potential of optical lithography.
著者 (1件):
NAKASE M
(Toshiba Corp., Kawasaki-city, JPN)
資料名:
Optical Engineering
(Optical Engineering)
巻:
26
号:
4
ページ:
319-324
発行年:
1987年04月
JST資料番号:
B0577B
ISSN:
0091-3286
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)