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J-GLOBAL ID：200902015495774987 整理番号：86A0255402

GaAsのSIMS法と化学的試料調製による高感度不純物分析

Highly sensitive impurity analysis of GaAs using SIMS and chemical preparation.

著者 (2件)：

TANAKA T

(Musashino Electrical Communication Lab., Tokyo)

KUROSAWA S

(Musashino Electrical Communication Lab., Tokyo)

資料名：

Journal of the Electrochemical Society (Journal of the Electrochemical Society)

巻： 133 号： 2 ページ： 416-420 発行年： 1986年02月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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