文献
J-GLOBAL ID:200902015568515195
整理番号:88A0512185
化学蒸着全面処理タングステンプラグの接触抵抗結果
Contact resistance results on CVD blanket tungsten plugs.
著者 (1件):
SMITH G C
(Texas Instruments, Inc., TX, USA)
資料名:
Tungsten and Other Refractory Metals for VLSI Applications
(Tungsten and Other Refractory Metals for VLSI Applications)
ページ:
323-328
発行年:
1986年
JST資料番号:
K19880493
ISBN:
0-931837-32-4
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)