文献
J-GLOBAL ID:200902015587119012
整理番号:91A0658248
ポリシリコンのフルオロカーボンプラズマエッチングにおける表面膜形成の定量化
Quantification of surface film formation effects in fluorocarbon plasma etching of polysilicon.
著者 (3件):
GRAY D C
(MIT, Massachusetts)
,
SAWIN H H
(MIT, Massachusetts)
,
BUTTERBAUGH J W
(IBM, Vermont)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
9
号:
3 Pt 1
ページ:
779-785
発行年:
1991年05月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)