文献
J-GLOBAL ID:200902015594558749
整理番号:92A0213962
TiN系の組成膜ないし混晶膜の構造と微小硬さ
Structure and microhardness of TiN compositional and alloyed films.
著者 (3件):
ANDRIEVSKI R A
(Inst. New Chemical Problems, AS U.S.S.R., Moscow Region, SUN)
,
ANISIMOVA I A
(Inst. Physics, AS Kirghizstan, Bishkek, SUN)
,
ANISIMOV V P
(Inst. Physics, AS Kirghizstan, Bishkek, SUN)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
205
号:
2
ページ:
171-175
発行年:
1991年12月01日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)