文献
J-GLOBAL ID:200902015686761079
整理番号:90A0638015
高感度,高精度の圧電抵抗低圧用センサ
Piezoresistive low-pressure sensor with high sensitivity and high accuracy.
著者 (2件):
SANDMAIER H
(Fraunhofer-Inst. Festkoerpertechnologie, Munich, DEU)
,
KUEHL K
(Fraunhofer-Inst. Festkoerpertechnologie, Munich, DEU)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
21
号:
1/3
ページ:
142-145
発行年:
1990年02月
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)