文献
J-GLOBAL ID:200902015721371211
整理番号:81A0295372
cwアルゴンレーザを用いた多結晶Si/Si構造からのシリコンのLPE成長
LPE growth of silicon from poly Si/Si structure using CW argon laser.
著者 (5件):
MINAGAWA S
(Stanford Univ., California)
,
LEE K F
(Stanford Univ., California)
,
GIBBONS J F
(Stanford Univ., California)
,
MAGEE T J
(Advanced Research and Applications Corp., California)
,
ORMOND R
(Advanced Research and Applications Corp., California)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
128
号:
4
ページ:
848-850
発行年:
1981年04月
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)