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文献
J-GLOBAL ID：200902018934020721
整理番号：92A0616749
酸化窒化けい素の非晶質層の組成変化と分光学的特性との関係
Relationship of composition changes to the spectroscopic characteristics of amorphous layers of silicon oxynitride.
SHAVALGIN YU G
(Latvian Univ., Riga)
,
PUNDUR P A
(Latvian Univ., Riga)
資料名：
Soviet Technical Physics Letters
(Soviet Technical Physics Letters)
巻： 17 号： 11 ページ： 759-760 発行年： 1991年11月
JST資料番号： H0665A ISSN： 0360-120X CODEN： STPLD2 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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