文献
J-GLOBAL ID:200902018971287363
整理番号:87A0036234
日本におけるサブミクロンリソグラフィー
Submicron lithography in Japan.
著者 (2件):
SHIBAYAMA K
(Mitsubishi Electric Corp., Itami, JPN)
,
KATO T
(Mitsubishi Electric Corp., Itami, JPN)
資料名:
Polymer Engineering & Science
(Polymer Engineering & Science)
巻:
26
号:
16
ページ:
1140-1144
発行年:
1986年09月
JST資料番号:
C0640A
ISSN:
0032-3888
CODEN:
PYESA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)