文献
J-GLOBAL ID:200902023128753011
整理番号:92A0332905
シリコン基板上のゾル-ゲルTiO2膜
Sol-gel TiO2 films on silicon substrates.
著者 (3件):
VOROTILOV K A
(Moscow Inst. Radioengineering, Electronics and Automation, Moscow, SUN)
,
ORLOVA E V
(Moscow Inst. Radioengineering, Electronics and Automation, Moscow, SUN)
,
PETROVSKY V I
(Moscow Inst. Radioengineering, Electronics and Automation, Moscow, SUN)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
207
号:
1/2
ページ:
180-184
発行年:
1992年01月30日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)