文献
J-GLOBAL ID:200902023128765168
整理番号:87A0051838
プラズマ処理における簡単な表面温度監視法
A simple method for monitoring surface temperatures in plasma treatments.
著者 (1件):
MANORY R R
(Lewis Research Center National Aeronautics and Space Administration, OH, USA)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
4
号:
5
ページ:
2392-2394
発行年:
1986年09月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)