文献
J-GLOBAL ID:200902023235432155
整理番号:90A0311721
高感度表面不純物検出用重イオン後方散乱分光法(HIBS)
Heavy-ion backscattering spectrometry(HIBS)for high-sensitivity surface impurity detection.
著者 (2件):
KNAPP J A
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
DOYLE B L
(Sandia National Lab., NM, USA)
資料名:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻:
45
号:
1/4
ページ:
143-146
発行年:
1990年01月
JST資料番号:
H0899A
ISSN:
0168-583X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)