文献
J-GLOBAL ID:200902023243727393
整理番号:87A0140201
高分子レジストの性質
Properties of polymer resists.
著者 (4件):
SHINOZAKI D M
(Univ. Western Ontario, Ontario, CAN)
,
MCGOWAN J W
(National Museum of Science and Technology, Ontario, CAN)
,
CHENG P C
(Univ. Illinois at Chicago. IL, USA)
,
TAN K H
(Univ. Wisconsin, WI, USA)
資料名:
NATO ASI Series. B. Physics
(NATO ASI Series. B. Physics)
巻:
137
ページ:
191-214
発行年:
1986年
JST資料番号:
C0189B
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)