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J-GLOBAL ID：200902051277907238 整理番号：92A0281604

電気的故障解析と超微量SIMSにより不要なICドープ剤の識別と計量

Using electrical failure analysis and microvolume SIMS to identify and quantify undesired IC dopants.

著者 (2件)：

ROSENBLATT D H

(Watkins-Johnson Co., CA)

CHIA V K F

(Charles Evans & Assoc., CA)

資料名：

Microcontamination (Microcontamination)

巻： 10 号： 2 ページ： 31-35,60 発行年： 1992年02月
JST資料番号： D0679B ISSN： 0738-713X 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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