文献
J-GLOBAL ID:200902051285502409
整理番号:88A0257418
真空中の急速熱アニーリングで生成させた自己整合型けい化チタン接合
Self-aligned titanium silicided junctions formed by rapid thermal annealing in vacuum.
著者 (3件):
YOSHIDA T
(Matsushita Electric Industrial Co. Ltd., Moriguchi, JPN)
,
FUKUMOTO M
(Matsushita Electric Industrial Co. Ltd., Moriguchi, JPN)
,
OHZONE T
(Matsushita Electric Industrial Co. Ltd., Moriguchi, JPN)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
135
号:
2
ページ:
481-486
発行年:
1988年02月
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)