文献
J-GLOBAL ID:200902051379084686
整理番号:91A0023301
ダイアモンド状膜の電子サイクロトロン共鳴蒸着
Electron cyclotron resonance deposition of diamond-like films.
著者 (2件):
SHING Y H
(California Inst. Technology, CA, USA)
,
POOL F S
(California Inst. Technology, CA, USA)
資料名:
Vacuum
(Vacuum)
巻:
41
号:
4/6
ページ:
1368-1370
発行年:
1990年
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)