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文献
J-GLOBAL ID：200902105158067968
整理番号：97A0800981
マイクロスキャンIII-第三世代、反射屈折ステップおよび走査リソグラフィーツールの性能
Micrascan III-performance of a third generation, catadioptric step and scan lithographic tool.
COTE D
(SVG Lithography Systems, Inc., CT)
,
ANDRESEN K
(SVG Lithography Systems, Inc., CT)
,
CRONIN D
(SVG Lithography Systems, Inc., CT)
,
HARROLD H
(SVG Lithography Systems, Inc., CT)
,
HIMEL M
(SVG Lithography Systems, Inc., CT)
,
KANE J
(SVG Lithography Systems, Inc., CT)
,
LYONS J
(SVG Lithography Systems, Inc., CT)
,
MARKOYA L
(SVG Lithography Systems, Inc., CT)
,
WILLIAMSON D
(SVG Lithography Systems, Inc., CT)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 3051 ページ： 806-816 発行年： 1997年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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