文献
J-GLOBAL ID:200902114092753260
整理番号:99A0730807
永久磁石を用いたCH4/O2/H2電子サイクロトロン共鳴プラズマのプラズマ診断と非晶質炭素の蒸着
Plasma Diagnostics of CH4/O2/H2 Electron Cyclotron Resonance Plasma with Permannt Magnets and Deposition of Amorphous Carbon.
著者 (5件):
YASUI T
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
KODERA H
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
OYA I
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
TAHARA H
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
YOSHIKAWA T
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
38
号:
7A
ページ:
4200-4205
発行年:
1999年07月15日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)