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文献
J-GLOBAL ID：200902131020831170
整理番号：93A0696916
炭素イオン打込みCo薄膜における準安定炭化物の形成とフラクタル構造
Formation of metastable carbide and fractal structure in Co thin films by carbon ion implantation.
LIU B X
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
,
TAO K
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 80/81 号： Pt 1 ページ： 332-335 発行年： 1993年06月
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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