文献
J-GLOBAL ID:200902131050966444
整理番号:97A1006205
アルミニウム接合が存在する場合の犠牲エッチングの問題点
Problems of sacrifical etching in the presence of aluminium interconnect.
著者 (4件):
GOOSEN J F L
(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
,
VAN DRIEEENHUIZEN B P
(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
,
FRENCH P J
(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
,
WOLFFENBUTTEL R F
(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
A62
号:
1/3
ページ:
692-697
発行年:
1997年07月
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)