文献
J-GLOBAL ID:200902146207607670
整理番号:93A0282068
高エネルギーイオン注入による重金属の近接ゲッタリング
Proximity Gettering of Heavy Metals by High-Energy Ion Implantation.
著者 (8件):
KUROI T
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo)
,
KAWASAKI Y
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo)
,
MOMORI S
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo)
,
FUKUMOTO K
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo)
,
INUISHI M
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo)
,
TSUKAMOTO K
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo)
,
SHINYASHIKI H
(Mitsubishi Materials Corp., Saitama)
,
SHINGYOJI T
(Mitsubishi Materials Corp., Saitama)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
32
号:
1B
ページ:
303-307
発行年:
1993年01月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)