文献
J-GLOBAL ID:200902165054740949
整理番号:95A0217102
アルミニウム薄膜の改質
Modification of aluminum thin films.
著者 (4件):
PARK M
(Cornell Univ., New York)
,
LANE K R
(Cornell Univ., New York)
,
PARPIA J M
(Cornell Univ., New York)
,
ISAACSON M S
(Cornell Univ., New York)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
13
号:
1
ページ:
127-131
発行年:
1995年01月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)