文献
J-GLOBAL ID:200902165135142574
整理番号:01A0185333
in situ発生HClを用いて成長させたラピッドサーマル塩素化酸化物の成長と特性解析
Growth and Characterization of Rapid Thermal Chlorinated Oxides Grown Using In Situ Generated HCl.
著者 (2件):
SHARANGPANI R
(Steag RTP Systems, California, USA)
,
TAY S-P
(Steag RTP Systems, California, USA)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
148
号:
1
ページ:
F5-F8
発行年:
2001年01月
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)