文献
J-GLOBAL ID:200902165171462208
整理番号:97A0245061
有機金属気相エピタクシーにより成長させたアンドープAlGaAs中の酸素及び炭素の評価
Characterization of Oxygen and Carbon in Undoped AlGaAs Grown by Organometallic Vapor-Phase Epitaxy.
著者 (3件):
KAKINUMA H
(Oki Electric Ind., Co., Ltd., Tokyo, JPN)
,
MOHRI M
(Oki Electric Ind., Co., Ltd., Tokyo, JPN)
,
AKIYAMA M
(Oki Electric Ind., Co., Ltd., Tokyo, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
36
号:
1A
ページ:
23-28
発行年:
1997年01月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)