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文献
J-GLOBAL ID：200902165178869710
整理番号：00A0122725
極端紫外線多層欠陥の補償法
Method for compensation of extreme-ultraviolet multilayer defects.
RAY-CHAUDHURI A K
(Sandia National Lab., California)
,
CARDINALE G
(Sandia National Lab., California)
,
FISHER A
(Sandia National Lab., California)
,
YAN P-Y
(Intel Corp., California)
,
SWEENEY D W
(Lawrence Livermore National Lab., California)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 17 号： 6 ページ： 3024-3028 発行年： 1999年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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