文献
J-GLOBAL ID:200902165183408233
整理番号:96A0038352
Alベースの多層メタライゼーションのエレクトロマイグレーション寿命に及ぼす結晶粒サイズと優先配向の影響
Effects of grain size and preferred orientation on the electromigration lifetime of Al-based layered metallization.
著者 (3件):
KONDO S
(Hitachi, Ltd., Saitama, JPN)
,
DEGUCHI O
(Toho Univ., Chiba, JPN)
,
HINODE K
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
78
号:
11
ページ:
6534-6538
発行年:
1995年12月01日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)