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文献
J-GLOBAL ID:200902165214351618   整理番号:95A0621505

化合物半導体中の浅い不純物の活性化と拡散

Activation and diffusion of shallow impurities in compound semiconductors.
著者 (1件):
WALUKIEWICZ W
(Univ. California, CA, USA)

資料名:
Institute of Physics Conference Series  (Institute of Physics Conference Series)

号: 141  ページ: 259-264  発行年: 1995年 
JST資料番号: E0403B  ISSN: 0305-2346  CODEN: IPHSAC  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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