文献
J-GLOBAL ID:200902165214351618
整理番号:95A0621505
化合物半導体中の浅い不純物の活性化と拡散
Activation and diffusion of shallow impurities in compound semiconductors.
著者 (1件):
WALUKIEWICZ W
(Univ. California, CA, USA)
資料名:
Institute of Physics Conference Series
(Institute of Physics Conference Series)
号:
141
ページ:
259-264
発行年:
1995年
JST資料番号:
E0403B
ISSN:
0305-2346
CODEN:
IPHSAC
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)