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文献
J-GLOBAL ID:200902198039954385   整理番号:02A0210693

ボデイ固定型部分トレンチ分離を用いた,バルクレイアウトと互換性のある0.18μm SOI-CMOS技術

Bulk-Layout-Compatible 0.18-μm SOI-CMOS Technology Using Body-Tied Partial-Trench-Isolation(PTI).
著者 (9件):
HIRANO Y
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
MAEDA S
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
NII K
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
IWAMATSU T
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
IPPOSHI T
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
KAWASHIMA H
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
MAEGAWA S
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
INUISHI M
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
NISHIMURA T
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)

資料名:
IEEE Transactions on Electron Devices  (IEEE Transactions on Electron Devices)

巻: 48  号: 12  ページ: 2816-2822  発行年: 2001年12月 
JST資料番号: C0222A  ISSN: 0018-9383  CODEN: IETDAI  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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