前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：200902212404768408
整理番号：09A0446083
現像後検査用の先端技術
Advanced technology for after-develop inspection
CHEN ZY
(Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Hsinchu, TWN)
,
CHOU IC
(Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Hsinchu, TWN)
,
YANG JH
(Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Hsinchu, TWN)
,
CHEN Wallas
(KLA-Tencor Corp., CA, USA)
,
CHANG Josh
(KLA-Tencor Corp., CA, USA)
,
CHEN Henry
(KLA-Tencor Corp., CA, USA)
,
NG Melvin
(KLA-Tencor Corp., CA, USA)
,
WU Meng-Che
(KLA-Tencor Corp., CA, USA)
,
PERRY-SULLIVAN Cathy
(KLA-Tencor Corp., CA, USA)
,
LI Mingwei
(KLA-Tencor Corp., CA, USA)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 7140 号： Pt.1 ページ： 71400Y.1-71400Y.6 発行年： 2008年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。