文献
J-GLOBAL ID:200902212435931200
整理番号:04A0356939
アルミニウム電極を有する炭化ケイ素薄膜相対湿度センサ
SILICON CARBIDE MEMBRANE RELATIVE HUMIDITY SENSOR WITH ALUMINIUM ELECTRODES
著者 (5件):
CONNOLLY E J
(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
,
PHAM H T M
(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
,
GROENEWEG J
(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
,
SARRO P M
(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
,
FRENCH P J
(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
資料名:
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻:
17th
ページ:
193-196
発行年:
2004年
JST資料番号:
W0377A
ISSN:
1084-6999
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)