文献
J-GLOBAL ID:200902212449073044
整理番号:08A0061803
容量結合rf放電における平均分数素電荷を有するナノ粒子の振幅変調放電電圧による迅速輸送
Rapid transport of nano-particles having a fractional elementary charge on average in capacitively-coupled rf discharges by amplitude-modulating discharge voltage
著者 (4件):
SHIRATANI Masaharu
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
KOGA Kazunori
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
IWASHITA Shinya
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
NUNOMURA Syota
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名:
Faraday Discussions
(Faraday Discussions)
巻:
137
ページ:
127-138
発行年:
2008年
JST資料番号:
C0377A
ISSN:
1359-6640
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)