文献
J-GLOBAL ID:200902212490864007
整理番号:06A0448527
電気化学機械析出の平坦化効率およびプロセスパラメータに対するの依存性
Planarization Efficiency of Electrochemical Mechanical Deposition and Its Dependence on Process Parameters
著者 (4件):
BASOL Buelent M.
(ASM NuTool, Inc., California, USA)
,
ERDEMLI Serkan
(ASM NuTool, Inc., California, USA)
,
UZOH Cyprian E.
(ASM NuTool, Inc., California, USA)
,
WANG Tony
(ASM NuTool, Inc., California, USA)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
153
号:
3
ページ:
C176-C181
発行年:
2006年
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)