文献
J-GLOBAL ID:200902212499749987
整理番号:08A0569176
多結晶ダイヤモンドのICPエッチング AFMカンチレバー用のダイヤモンドナノチップの作製
ICP etching of polycrystalline diamonds: Fabrication of diamond nano-tips for AFM cantilevers
著者 (3件):
UETSUKA H.
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), JPN)
,
YAMADA T.
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), JPN)
,
SHIKATA S.
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), JPN)
資料名:
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻:
17
号:
4-5
ページ:
728-731
発行年:
2008年04月
JST資料番号:
W0498A
ISSN:
0925-9635
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)