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文献
J-GLOBAL ID:200902227893498911   整理番号:07A0376599

低温超音波計測によるCZシリコン結晶の原子空孔濃度分布測定:R-OSF域とボイド領域

著者 (7件):
佐藤幸治
(新潟大 大学院)
昆金正敏
(新潟大 大学院)
金田寛
(新潟大 物質量子科学研究セ)
根本祐一
(新潟大 大学院)
鈴木修
(新潟大 物質量子科学研究セ)
中村慎太郎
(東北大 金属材料研)
後藤輝孝
(新潟大 大学院)

資料名:
応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)

巻: 54th  号:ページ: 450  発行年: 2007年03月27日 
JST資料番号: Y0054A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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