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J-GLOBAL ID：200902252483800933 整理番号：05A0394179

プラズマCVD法により合成したRu-Cナノコンポジット膜のナノ構造

著者 (3件)：

坂田正人

(東北大大学院)

木村禎一

(東北大金属材料研)

後藤孝

(東北大金属材料研)

資料名：

日本金属学会講演概要 (Collected Abstracts of the Meeting of the Japan Institute Metals)

巻： 136th ページ： 313 発行年： 2005年03月29日
JST資料番号： S0988A ISSN： 1342-5730 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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