文献
J-GLOBAL ID:200902255838076530
整理番号:08A0735587
MOCVD法によるPr酸化膜の作製およびその電気的特性評価
Fabrication of Pr oxide by MOCVD and evaluation of its electrical properties
著者 (5件):
近藤博基
(名古屋大 大学院工学研究科)
,
櫻井晋也
(名古屋大 大学院工学研究科)
,
酒井朗
(大阪大 大学院基礎工学研究科)
,
小川正毅
(名古屋大 エコトピア科研)
,
財満鎭明
(名古屋大 大学院工学研究科)
資料名:
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻:
108
号:
80(SDM2008 42-57)
ページ:
71-75
発行年:
2008年06月02日
JST資料番号:
S0532B
ISSN:
0913-5685
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)