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文献
J-GLOBAL ID：200902273837330899
整理番号：03A0582813
超電導バルク磁石を用いたスパッタガンの開発
Development of a Sputtering Cathode Using a Superconducting Bulk Magnet.
柳陽介
(イムラ材研)
,
松田隆
(ダイアックス)
,
間広文
(名古屋産科研)
,
岡徹雄
(アイシン精機)
,
伊藤佳孝
(イムラ材研)
,
生田博志
(名古屋大 大学院)
,
桜井和雄
(アネルバ)
,
今井淳夫
(名古屋産科研)
,
水谷宇一郎
(名古屋大 大学院)
資料名：
日本機械学会年次大会講演論文集
(日本機械学会年次大会)
巻： 2003 号： Vol.1 ページ： 465-466 発行年： 2003年08月05日
JST資料番号： X0587B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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